​ CNC精密零配件加工的特點

     超精密零配件（jiàn）加工方法的（de）特點是對（duì）外表層物質去（qù）除（chú）或添加的量能夠作極細（xì）微（wēi）的控（kòng）製。但是要獲得cnc超精密零件加工精度，仍（réng）有賴於精密的加（jiā）工設備和準確的克製係統（tǒng），並采用超精密掩膜作（zuò）中介物。例（lì）如超大規（guī）模（mó）集成電路的製版即（jí）使采用電（diàn）子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子（zǐ）在電子撞（zhuàng）擊下直接聚（jù）合(或分解)，再（zài）用（yòng）顯影劑（jì）把聚合過（guò）的或未聚合過的部分溶解掉，製成掩膜。電子束（shù）曝射製版必要采用工作台定位精度高（gāo）達±0.01微米的超精密加工設備。

    超精密零配件加工，主要有超精密車削、鏡麵（miàn）磨削和研磨等。在超精密車床（chuáng）上用通過精細（xì）研磨的（de）單（dān）晶金剛石車刀舉行微（wēi）量車削,切（qiē）削厚度僅1微米左右，常（cháng）用（yòng）於加工（gōng）有色金屬材料的（de）球麵、非球麵和平麵的反射鏡等高精（jīng）度、外表高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反射鏡，高精度可達0.1微米（mǐ），外（wài）表粗糙度為Rz0.05微米。

     超精密零配件加工精度以納米，甚至後以原子單位(原子晶格距（jù）離為0.1～0.2納米)為目標時，超精密零件切削加工方法已不能適應，必要借助特（tè）種精密（mì）零配件加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等，使這些能量超越（yuè）原子間的聯（lián）合能，從而去除工件外表的部分原子間的附著（zhe）、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的（de）目的。屬於這類（lèi）加工的有機械化學拋光、離子濺射和（hé）離子注（zhù）入、電子束（shù）曝射、激光束（shù）加工、金屬蒸（zhēng）鍍和分子束（shù）外延等。